Phasics
SID4 UV wavefront

SID4 UV

Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)

作为最低可至波长190 nm的高分辨率波前传感器，SID4 UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。

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300 x 300超高相位取样分辨率
2 nm RMS高相位灵敏度
紫外波段波前测量的通用解决方案

SID4 UV

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技术特点

SID4-UV

波长范围190 - 400 nm
靶面尺寸7.8 x 7.8 mm²
空间分辨率26 µm
取样分辨率300 x 300
相位分辨率2 nm RMS
绝对精度15 nm RMS
取样速度> 15 fps
实时处理速度*2 fps (全分辨率下)*
接口种类以太网口
尺寸（宽x高x长）74 x 71 x 91 mm³
重量约600g

*使用官方配置电脑搭载PhaseStudio软件环境下