SID4 UV HR

Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)

基于Phasics的独家专利技术，SID4 UV HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率（512x 512取样分辨率）和极高的相位灵敏度（优于2 nm RMS）。 因此，SID4 UV HR非常适合用于光刻，半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测（透镜和晶圆等）。